六氟化鎢，分子式為WF6，分子量為297.830。無色氣體或淺黃色液體，固體為易潮解的白色結晶，在潮濕空氣中冒煙。主要用于鎢的化學蒸鍍，用作氟化劑。健康危害，侵入途徑：吸入、食入。健康危害：遇潮濕、空氣或水分解，散發也劇毒和有腐蝕性的氟化氫煙霧。該品對眼睛、皮膚和粘膜能引起非常嚴重的燒傷。毒理學資料及環境行為毒性：具有劇烈刺激性。危險特性：能與許多物質發生化學反應。遇潮氣、空氣或水解，放出劇毒的腐蝕性氟化氫氣體。腐蝕性很強，能侵蝕幾乎所有的金屬，能迅速腐蝕濕的玻璃。燃燒（分解）產物：氟化氫。泄漏應急處理：迅速撤離泄漏污染區人員至安全區，禁止無關人員進入污染區，應急處理人員戴正壓自給式呼吸器，穿廠商特別推薦的化學防護服（完全隔離）。在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發（或擴散），但不要對泄漏物或泄漏點直接噴水。勿使水進入包裝容器內，抽排（室內）或強力通風（室外）。漏氣容器不能再用，且要經過技術處理以清除可能剩下的氣體。
